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真空检漏的实际意义？答：真空系统软件的限真空决策于系统软件的抽速和漏汽量，故在抽速一定时，漏气量就选择了真空度，欲使系统软件实现设定的限真空，务必根据检漏和补漏使体系的漏汽量操纵在容许漏率范畴内。

从基本原理上讲，真空检漏可分成哪两类？答：可以分成：1）工作压力检漏法，包含①打气检漏法，②卤素灯泡检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包含①高频率火苗检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。

概述真空泵的抽真空基本原理。答：1）利用缩小功效将汽体清除到泵外。a.机械设备周期时间式胀大缩小，b.蒸气流黏滞牵引带缩小，c.刚度表层的牵引带缩小。2）利用吸咐功效将汽体拘束于泵内。a.利用水解呼吸功效，b.利用物理学吸咐和有机化学吸咐功效。

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国内在90年代也有人研制了石英真空计，所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡，自跟踪电路。测量范围为0.1Pa~2×105Pa。 很近我们研制的DL-10A型石英真空计采用FC135晶振，测量范围为5×10-1~105Pa。目前已有石英真空计产品，

例如：CC-10真空计测量范围是1.33×10-2Pa到大气压，M-320XG晶振真空计测量范围是1X10-1Pa到大气压，DL-10A型石英真空计测量范围是5X10-1Pa到大气压。其优点为：传感器体积小，耗电功率小（约1W），精度较高（约10%），量程较宽（10-1~105Pa）等。

PART 01工作原理

石英晶振在谐振时，其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关，二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高，但测量范围较窄，它可以用作标准真空计或应用于要求精度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽，可达0.1-105Pa，适合做工作用真空计。晶振在谐振时，同时自身也存在机械振动，振动时将受气体阻力，阻力的大小与气体压强有关，因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。

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inficon电容器塑料薄膜真空计规定准确测量电源电路功能损耗低、易集成化，充分考虑分布电容和干扰信号及温度的危害，准确准确测量inficon电容器塑料薄膜真空泵规管的细微电容器是一个难点。感压塑料薄膜上的电级各自与固定不动电级、参照电级组成比较敏感电容器和参照电容器，伺服驱动器电级坐落于感压塑料薄膜下边，

根据增加静电力使感压塑料薄膜在准确测量真空值的历程中处在一个明确的部位，进而完成宽标准的动态性压力测量。当被测压力为p时，使得感压塑料薄膜处在平衡状态，则增加在感压塑料薄膜上的企业范围的静电力Fe应当工作压力p相同，瑞士英福康真空计维修，静电力均衡式inficon电容器塑料薄膜真空泵规管框架图当伺服驱动器工作电压为VS时，塑料薄膜上受到的静电力Fe为：式中：ε0为真内腔室的相对介电常数；d是伺服驱动器电级与塑料薄膜间的间距。

由式（2）、式（3）得伺服驱动器工作电压与工作压力p的影响为：静电力均衡式inficon电容器塑料薄膜真空计的信号分析电源电路由微电容器准确测量电源电路和静电力控制电路构成。在其中，微电容器准确测量电源电路用于对比较敏感电容器的变化量准确测量获得工作压力数据信号，而静电力控制电路用于造成伺服驱动器工作电压。

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