潽拓——爱德华分子泵控制器电源，分子泵

Edwards EXT70H 英国爱德华涡轮分子泵维修

     广州潽拓光电科技有限公司维修Edwards  TURBO Pump英国爱德华STP/EXT/ NEXT全系列涡轮分子泵全系列分子泵，可提供24小时快速维修保养技术服务，欢迎咨询联系。

    广州潽拓光电科技有限公司注册于2016年07月29日，自成立以来，专注于分子泵，真空领域技术服务。在科学研究和技术服务业不断潜心研究，不断进取，完善内部制度。

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     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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Edwards全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207 爱德华分子泵

技术参数：

入口法兰尺寸                                VG200/ISO200F/ICF253/ISO250F/VG250/ICF305

前级抽气口尺寸                             KF40

抽速                                              N2/Ar2200/1900 ls-1

压缩比                                           N2/H2>107

极限压力                                        10-6 Pa (10-8 Torr)

允许的前级压力                              200 Pa

大气流 N2 *（仅水冷）                3200 sccm

                                                    (5.41 Pam3s-1)

大气流 Ar *（仅水冷）                1000 sccm

                                                    (1.69 Pam3s-1)

额定速度                                        36500 rpm

运转到 90% 额定速度的时间            <8 分钟

固定位置                                       任何方向

输入电压                                        200-240 V

大输入功率（不带 TMS）              750 VA

重量                                               45 kg

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