广州潽拓光电科技有限公司--爱发科分子泵UTM-150保养维修；

ARPES光束线客户案例:某光源ARPES光束线真空系统，真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分，只有在真空环境中运行，光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站，真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度，保证光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80，及配套真空规.

真空系统要求(分子泵):

1.静态真空(无束流):5x10-8Pa，动态真空(有束流):

2.真空系统基本配置:离子泵 无油分子泵 冷阴极真空规管 气体分析仪超高真空系统配置:

涡轮分子泵

接口:DN100CF-F

极限真空:氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80

接口:DN63CF-F

极限真空:氮气压缩比:>1X1011残余气体分析仪PrismaPro

质量数:1-300amu

四极杆直径／长度:6/125mm

很大工作压力FhPa:5X10-4

涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S，转速很高90，000rpm，极限真空很大1E-11mbar，对小分子气体具有更高的压缩比，实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100，000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用，推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>

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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（）设计并执行了下面的测试：测试条件和装置被测分子泵的型号为TwisTorr304FSCFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。

使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的PT100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mT，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mT。

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mT时，平衡温度上升到100摄氏度左右（分子泵的很大允许温度为120度）。

另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，爱发科分子泵UTM-150保养，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（5mT时，低大约40度）。

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用于氦质谱检漏仪的分子泵的多为抽速60L/s左右的小型泵，对氦气的压缩比在1000左右。分子泵的抽速与动叶轮的转速有关，只有动叶轮的切向速度与气体分子的热运动速度相当时才有抽气能力，且抽速随转速而增，所以抽速在50~150L/s之间的小型分子泵的转速通常达到90000~40000转/分。分子泵的另一性能指标是，压缩比，所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比，压缩比于转速及分子量的关系是:

Kcxexp[GXu(M)17]式中:G为与叶轮几何形状有关的常数;U为叶轮转速;M为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比大。氦质谱检漏仪中，逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量氦气的低压缩比，而且，还通过降低叶轮转速，降低对He的压缩比，从而提高对氦气的响应灵敏度。

改变氦质谱检漏仪的分子泵的转速，分子泵的压缩比会发生变化，分子泵的转速由1500Hz改变为1000Hz，分子泵的压缩比会变小，进入质谱室的氦分压增加，检漏仪检测到氦信号会变大，试验中，检漏仪在1000Hz下的信号是1500Hz信号的3.5倍，也就是说分子泵在1500Hz的压缩比;是1000Hz的3.5倍。

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