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涡轮分子泵的特点很多，但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展，涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率，爱发科真空泵有油R7500供应，其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研，同时也需要各界的共同努力，对涡轮分子泵特点的进一步研究，相信在未来是个值得突破的课题。

典型的涡轮分子泵抽气系统 ，抽气系统设置分开的粗抽管道和前级管道，这种系统和常用的扩散泵抽气系统类似，其粗抽管道和前级管道的基本配置与扩散泵不同。扩散泵的正常运转要求前级泵具有足够大的抽速，以便在很大排气量时前级压力能低于临界前级压力，在涡轮分子泵抽气系统中，要选择具有足够容量的前级泵，使很靠近前级管道的叶片在很大排气量时处于分子流或者正好处于过渡流。

大多数涡轮分子泵的很大稳态进气口压力P1在0.5~1Pa之间，而很大前级压力P2约为30Pa。因为排气量为一常数，珠海爱发科真空泵有油，即P1S1=P2S2，   （1）式（1）表明，涡轮分子泵抽速和前级泵抽速之S1/S2比应该在30到60的范围内，对于很大的对氢压缩比小于500的泵来说，其级配比应该为20：1。1-涡轮分子泵；2-液氮冷阱；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-粗抽阀；7-机械泵；8-前级管路阀；9-高真空阀。

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脉冲激光沉积系统PLD客户案例：某大学电信系脉冲激光沉积系统

1.系统功能：主要用于Mn氧化物等复杂材料膜。

2.涡轮分子泵真空度要求:真空度

3.样品尺寸:6英寸

4.基片旋转，加热温度：750℃

5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式

真空系统配置:超高真空系统配置:涡轮分子泵400

接口:DN100CF-F

极限真空:

氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80

接口:DN63CF-F

极限真空:

氮气压缩比:>1X1011隔膜泵MVP040

口径:G1/4”

极限真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h

涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S，爱发科真空泵有油R-4供应商，转速很高90，000rpm，极限真空很大1E-11mbar，对小分子气体具有更高的压缩比，实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100，000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用，爱发科真空泵有油R8000价格，推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>

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用于氦质谱检漏仪的分子泵的多为抽速60L/s左右的小型泵，对氦气的压缩比在1000左右。分子泵的抽速与动叶轮的转速有关，只有动叶轮的切向速度与气体分子的热运动速度相当时才有抽气能力，且抽速随转速而增，所以抽速在50~150L/s之间的小型分子泵的转速通常达到90000~40000转/分。分子泵的另一性能指标是，压缩比，所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比，压缩比于转速及分子量的关系是:

Kcxexp[GXu(M)17]式中:G为与叶轮几何形状有关的常数;U为叶轮转速;M为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比大。氦质谱检漏仪中，逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量氦气的低压缩比，而且，还通过降低叶轮转速，降低对He的压缩比，从而提高对氦气的响应灵敏度。

改变氦质谱检漏仪的分子泵的转速，分子泵的压缩比会发生变化，分子泵的转速由1500Hz改变为1000Hz，分子泵的压缩比会变小，进入质谱室的氦分压增加，检漏仪检测到氦信号会变大，试验中，检漏仪在1000Hz下的信号是1500Hz信号的3.5倍，也就是说分子泵在1500Hz的压缩比;是1000Hz的3.5倍。

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