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复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ～ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，pfeiffer普发分子泵服务，大大提高了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静承和动密封的复合分子泵，可以做到完全无油，且不用前级泵直接向大气中排气。
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Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 系列，采用复合轴承设计，内部主要由陶瓷球轴承，转子轴，安全轴承和磁性轴承组成
“HiPace 450 涡轮分子泵具有理想的尺寸功率比。是 300 至 700 l/s 吸力级别中结构紧凑的大功率涡轮分子泵，针对小分子气体具有的抽吸能力。”
HiPace 内置的驱动电子设备在不增加体积尺寸的情况下，提供了包括 ProfiNet 和 EtherCat 在内的大量通讯接口。通过遥控和传感器元件可以对泵数据进行分析，实现在运行过程中进行理想的工艺监控。它的运行噪音低，气体流量大，为真空行业树立了新的标准。该系列的各款泵均已获得 Semi S2
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